转台式曝光机规格书 设备持点： 高精度自动台板 三针式自动对位 ccd 镜头 自动输送系统 可连线 曝光模式可选择轻接触式 soft-contact mode / 近距离曝光式 proximity mode 输送玻璃以胶轮带动 本装置配有单光源系统 基本规格： 处理基板材料：已涂胶玻璃尺寸： 14′×16′ 玻璃厚度ｔ＝ 0.4 ～ 1.1mm 烙板（ mask ）材料：可透过紫外光线玻璃。尺寸： 14′×16′×5mmt 基本指标： 电源：本体及单光源两系统 本体： 3 相， 220v ， 15a ， 60hz 单光源： 3 相， 220v ， 40a ， 60hz 压缩空气 (c.d.a) ： 0.5mpa ， 400nl/min 热排气： 15m³/min 真空：－ 0.08mpa ， 60nl/min 机房要能承受 500kg/m³ 以上重量。 装置外观：本体： 2000×1055 ×1820mm 本体加单光源： 2000×1635 ×2200mm 重量：本体： 500kg ， 光源： 300kg ，合计： 800kg